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关于微纳器件板块
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微机电系统(MEMS) 和纳机电系统(NEMS ) 是微米/纳米技术的重要组成部分,逐渐形成一个新的技术领域。MEMS 已经在产业化道路上发展,NEMS 还处于基础研究阶段。从微小化和集成化的角度,MEMS (或称微系统)指可批量制作的、集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路,直至接口、通讯和电源等于一体的微型器件或系统。而NEMS (或称纳系统) 是90 年代末提出来的一个新概念,是继MEMS 后在系统特征尺寸和效应上具有纳米技术特点的一类超小型机电一体的系统,一般指特征尺寸在亚纳米到数百纳米,以纳米级结构所产生的新效应(量子效应、界面效应和纳米尺度效应) 为工作特征的器件和系统。 MEMS和NEMS 是一种多学科交叉的技术,几乎所有的自然及工程领域都可应用和发展自己的MEMS, 如Optical-MEMS,RF-MEMS,Bio-MEMS,Power-MEMS 等，研究中正拓展出新的研究方向。微纳器件主要涵括： 微传感/执行器件|纳传感器件 微流体器件|纳流体器件 微光学器件 微能源器件 射频器件 微型生物器件|纳生物器件 欢迎从事该领域的虫子一起探讨、交流 学习。 *此帖有待进一步整理* [ Last edited by memser on 2009-1-9 at 22:31 ] |
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 微纳机械（机电系统&器件）加工-MEMS/NEMS |
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2楼2009-01-09 23:15:25
popsheng
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4楼2009-01-09 23:23:17
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9楼2009-01-10 18:15:22
1
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