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测1um厚薄膜的XRD衍射图谱,用多大的入射角?需要用掠入式的吗?
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小妞的口袋
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专业: 金属材料的合金相、相变及
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测1um厚薄膜的XRD衍射图谱,用多大的入射角?需要用掠入式的吗?
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薄膜的XRD衍射图谱,用多大的入射角?需要用掠入式的吗?
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1楼
2017-05-13 09:59:21
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guxue
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小妞的口袋(20091783代发): 金币+1
2017-11-06 22:59:36
可以采用掠入射的方法对薄膜进行测试。
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2楼
2017-05-13 17:16:11
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kangye_1989
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小妞的口袋(20091783代发): 金币+2
2017-11-06 22:59:40
这么厚的膜正常扫就可以了,首先你这个膜是单晶的还是多晶的,单晶的就比较麻烦,需要用四元衍射,多晶的就直接扫一遍就行了
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2017-05-15 07:58:48
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小妞的口袋(20091783代发): 金币+1
2017-11-06 22:59:45
2°。3°都可以吧。我用的2°,500nm的
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4楼
2017-05-15 18:12:04
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