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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 计算模拟区 » 仿真模拟 » COMSOL Multiphysics & HYPERWORKS » mems梁下拉电压问题
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wing.z

新虫 (初入文坛)

[求助] mems梁下拉电压问题

各位大神，最近在仿一个mems开关梁，设置下拉电压为9伏时一切正常，增加到10伏时就出现了如图问题，这是什么原因呢，9伏时梁下拉位移才到间隙的四分之一处呀？

mems梁下拉电压问题


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1楼 2017-05-10 23:22:40
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xz_fighter

新虫 (小有名气)
comsol中mems模块有类似自带案例，可以参考

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2楼2017-05-11 21:01:35
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wing.z

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by xz_fighter at 2017-05-11 21:01:35
comsol中mems模块有类似自带案例，可以参考

这个就是按照案例“stationary analysis of a biased resonator-3D”整的。会不会是梁的间隙太窄了，下拉时网格被“挤压”进间隙下方的绝缘层造成的？

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3楼2017-05-12 10:08:18
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xz_fighter

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wing.z at 2017-05-12 10:08:18
这个就是按照案例“stationary analysis of a biased resonator-3D”整的。会不会是梁的间隙太窄了，下拉时网格被“挤压”进间隙下方的绝缘层造成的？
...

有可能，造成坍塌效应，你可以把间隙调大一点再试试

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4楼2017-05-12 18:04:06
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wing.z

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by xz_fighter at 2017-05-12 18:04:06
有可能，造成坍塌效应，你可以把间隙调大一点再试试
...

已经尝试过增加间隙，确实相应可以提高下拉电压。但无论间隙多少，还是无法仿真出梁下降到间隙三分之一处的下拉电压，请问大神，你说的那个塌陷效应应该怎么解决呢？

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5楼2017-05-14 22:49:32
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