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mems梁下拉电压问题
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各位大神，最近在仿一个mems开关梁，设置下拉电压为9伏时一切正常，增加到10伏时就出现了如图问题，这是什么原因呢，9伏时梁下拉位移才到间隙的四分之一处呀？ 发自小木虫Android客户端 |
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2楼2017-05-11 21:01:35
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这个就是按照案例“stationary analysis of a biased resonator-3D”整的。会不会是梁的间隙太窄了，下拉时网格被“挤压”进间隙下方的绝缘层造成的？ 发自小木虫Android客户端 |
3楼2017-05-12 10:08:18
xz_fighter
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4楼2017-05-12 18:04:06
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已经尝试过增加间隙，确实相应可以提高下拉电压。但无论间隙多少，还是无法仿真出梁下降到间隙三分之一处的下拉电压，请问大神，你说的那个塌陷效应应该怎么解决呢？ 发自小木虫Android客户端 |
5楼2017-05-14 22:49:32