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[交流]
电子束蒸镀多层膜质量
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如题，小弟用电子束蒸镀金和氟化镁多层膜，交替镀膜十几层，每层20纳米。结束之后，取出样品表面很光滑，镜面反射很亮很平整，但在空气中330度下加热测试热辐射谱线，样品直接变模糊，显微镜下看凹凸不平，不知道是不是多层膜应力的问题？相同有经验的虫友交流下，不胜感激！ 发自小木虫IOS客户端 |
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