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秋雨晨曦梦

金虫 (初入文坛)


[交流] 电子束蒸镀多层膜质量

如题,小弟用电子束蒸镀金和氟化镁多层膜,交替镀膜十几层,每层20纳米。结束之后,取出样品表面很光滑,镜面反射很亮很平整,但在空气中330度下加热测试热辐射谱线,样品直接变模糊,显微镜下看凹凸不平,不知道是不是多层膜应力的问题?相同有经验的虫友交流下,不胜感激!

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