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小y_无心

银虫 (小有名气)

[求助] 使用TMAH腐蚀硅片时溶液中产生了大量白色絮状物质,请问是什么东西 已有1人参与

腐蚀液为8%TMAH溶液,温度90摄氏度。
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张恰恰

新虫 (初入文坛)

2楼2017-05-08 15:58:38
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小y_无心

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 张恰恰 at 2017-05-08 15:58:38
二氧化硅?

将白色絮状物过滤出来,放入到KOH溶液中,并不溶解。
3楼2017-05-09 09:57:39
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
小y_无心: 金币+5, ★★★很有帮助 2017-08-01 09:14:17
引用回帖:
3楼: Originally posted by 小y_无心 at 2017-05-09 09:57:39
将白色絮状物过滤出来,放入到KOH溶液中,并不溶解。...

这个是腐蚀出来的硅化物,腐蚀好以后需要立即冲洗,否则沾在片子上就很难去除了。
4楼2017-05-10 16:36:41
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