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beikedajing

铜虫 (小有名气)

[求助] 求各位大神推荐一本关于电子束曝光的书 已有1人参与

求各位大神推荐一本关于电子束曝光的书,偏重于基础理论和简单应用的!

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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

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有一本书不错,十几年了,中文的实在是记不得书名了,印象里有“电子束光刻”的字样,估计只有国图和科图之类的地方才有吧。
还有就是电工所顾文琪老师写过一部书,专门讲电子束光刻的。
英文的,可以在google图书馆上看“handbook of microlithography”,其中有一章是讲电子束光刻的。
其它的,时间太久,实在记不住。
2楼2017-05-10 16:44:56
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