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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请问国内哪里有卖光刻胶底部抗反射图层ARC
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jph1130

铜虫 (小有名气)

[求助] 请问国内哪里有卖光刻胶底部抗反射图层ARC 已有2人参与

如题，本人打算在硅片上做激光干涉曝光但是查文献得知si基底对光有反射，会对光刻结构发生影响，需要旋涂一层底部抗反射胶。自己也联系过几家公司（瑞红、阿拉丁都没有）请问各位国内哪里有卖？
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1楼 2017-05-03 09:35:14
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温馨妹

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我这边有的  潍坊星泰克

发自小木虫IOS客户端
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2楼2017-05-03 09:56:32
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billy7993

新虫 (初入文坛)
请问楼主后来买到了么?
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3楼2020-08-18 13:30:30
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hitsz_li

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

薄胶在单色光源曝光下确实需要考虑驻波效应问题，常见BARC（更常见）和TARC两种，市面上常见的BARC的常见是AZ和brewer science，但是如果您是科研需求，量很少的话，一般很难买到，因为他们的供货量是加仑为单位的。
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4楼2020-08-18 15:22:45
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