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磁控溅射样品安装
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实验用的仪器靶材是安装在溅射腔的侧壁上的,基片是粘在溅射腔上方与靶材成90度,还是要挂在与靶材相对的地方呢?图片是相对的位置,感觉不太对。 发自小木虫Android客户端 |
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