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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » BFO的制备
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13615013709

新虫 (初入文坛)

[交流] BFO的制备 已有1人参与

请问。采用磁控溅射镀BFO薄膜。在溅射工艺和退火工艺上有没有什么特别需要注意的。可以增加它的铁电性。

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13615013709

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1楼 2017-04-29 20:28:57
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xiwa09

新虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
氧分压不要太低，否则漏电流会很大

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2楼2017-04-30 06:17:56
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13615013709

新虫 (初入文坛)
送红花一朵


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3楼2017-04-30 11:19:28
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13615013709

新虫 (初入文坛)
我用的氧氩比是4:40  溅射气压3pa  这怎么看出氧分压不会太低？

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4楼2017-04-30 11:19:34
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