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glory389

铜虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】共蒸发长CIS时Se被O置换的问题

我试过很多次共蒸发Cu2Se与In2Se3,都有大量的Se被O置换,最后生成In2O3,真空为0.08torr。

我感觉是密封不够好,有人知道真空要求至少要多少吗?

[ Last edited by ddx-k on 2009-10-13 at 18:40 ]
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未来在于计划
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litanty

金虫 (小有名气)

★ ★
wuli8(金币+1,VIP+0):(*^__^*)
dawnlight(金币+1,VIP+0):3x,感谢分享,欢迎常来 8-10 11:19
需求背景真空的,一般要达到10-5那个数量级,然后再调整压力晶型蒸发- -
2楼2009-01-06 12:13:30
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yupo54

新虫 (小有名气)


dawnlight(金币+1,VIP+0):鼓励新虫 8-10 11:19
蒸发法确实对真空度要求高
3楼2009-08-09 23:59:59
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bote

★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
musi429(金币+2,VIP+0):多谢交流 8-19 15:21
background vacuum 10^(-7) torr
vacuum during deposition~10^(-4) torr
1. check your bulk target for oxygen
2. check your chamber leak (leak rate as smaller as possible)
4楼2009-08-19 13:27:05
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chenguang5895

木虫 (著名写手)


ddx-k(金币+1,VIP+0):zz 10-13 18:40
你可以让N2流过啊
5楼2009-08-20 16:59:43
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