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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 【求助】共蒸发长CIS时Se被O置换的问题
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glory389

铜虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】共蒸发长CIS时Se被O置换的问题

我试过很多次共蒸发Cu2Se与In2Se3，都有大量的Se被O置换，最后生成In2O3，真空为0.08torr。

我感觉是密封不够好，有人知道真空要求至少要多少吗？

[ Last edited by ddx-k on 2009-10-13 at 18:40 ]
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未来在于计划
1楼 2009-01-06 11:16:06
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litanty

金虫 (小有名气)
★ ★
wuli8(金币+1,VIP+0):(*^__^*)
dawnlight(金币+1,VIP+0):3x，感谢分享，欢迎常来 8-10 11:19
需求背景真空的，一般要达到10－5那个数量级，然后再调整压力晶型蒸发－ －
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2楼2009-01-06 12:13:30
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yupo54

新虫 (小有名气)
★
dawnlight(金币+1,VIP+0):鼓励新虫 8-10 11:19
蒸发法确实对真空度要求高
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3楼2009-08-09 23:59:59
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bote

★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
musi429(金币+2,VIP+0):多谢交流 8-19 15:21
background vacuum 10^(-7) torr
vacuum during deposition~10^(-4) torr
1. check your bulk target for oxygen
2. check your chamber leak (leak rate as smaller as possible)
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4楼2009-08-19 13:27:05
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chenguang5895

木虫 (著名写手)
★
ddx-k(金币+1,VIP+0):zz 10-13 18:40
你可以让N2流过啊
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5楼2009-08-20 16:59:43
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