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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 其他 » 容性耦合射频等离子体不产生自偏压？
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njsb

新虫 (初入文坛)

[求助] 容性耦合射频等离子体不产生自偏压？

求问容性耦合射频等离子体不产生自偏压？匹配器上有个自偏压表，起辉后未有反应，正常吗？
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1楼 2017-04-25 10:18:09
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继续前行.

新虫 (初入文坛)
我也遇到了这个问题，请问您的这个问题解决了吗

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2楼2019-07-15 15:17:44
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