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wanglanfang

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射做YIG 已有1人参与

用磁控溅射做YIG，YIG靶安装到磁控溅射的强磁靶上还是普通磁性靶上，请大神帮忙。
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薄膜制备与特性

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1楼 2017-04-19 11:37:53
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wanglanfang: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2017-04-22 11:52:40
这个YIG靶材里含有大量的氧化铁，是氧化钇和氧化铁通过烧结形成的复合物。而氧化铁是强磁性材料，一般的YIG靶材的饱和磁化强度可达到30 emu/g左右。故本人认为应安装到磁控溅射的强磁靶上。可参考一下 2014年杭州电子科技大学的硕士论文“射频磁控溅射法制备环形器用YIG薄膜”，作者： 晏学飞  。
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2楼2017-04-19 15:54:58
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