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xiongbijun

金虫 (小有名气)

[交流] 求助:怎么确定离子注入的剂量?

分别针对MEVVA金属源和 气体等离子体全方位注入
谢谢各位达人哦

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人之所以痛苦,是因为在追求错误的东西
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a9998382

木虫 (正式写手)

问题说的再清楚点行吗?
2楼2009-01-04 20:48:26
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xiongbijun

金虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by a9998382 at 2009-1-4 20:48:
问题说的再清楚点行吗?

就是注入的参数都确定,怎么算出来离子注入的剂量,针对射频+高压的乙炔注碳,还有MEVVA离子源的金属离子注入和C离子注入,知道电压电流时间什么的,有这样的公式吗?
人之所以痛苦,是因为在追求错误的东西
3楼2009-01-05 08:46:11
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famila

木虫 (正式写手)


xiongbijun(金币+1,VIP+0):谢谢你的回复~
去查查文献吧,有人做过离子注入数学模型分析的
4楼2009-01-07 07:20:23
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