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jw329

新虫 (正式写手)

[求助] 钛酸锶STO衬底表面高温变粗糙? 已有1人参与

我用抛光后的STO单晶作为衬底外延生长,温度850度,压强10torr,前驱体高温会释放少量氧。但最后什么也没长上去,并且STO表面变得很粗糙,这是什么原因?

按理说钛酸锶的熔点很高,应该很稳定,卖STO的商家说什么700多度有个相变造成的,可我只查到105 K的相变。不过毕竟没调查清楚不好下结论,所以想问问用过钛酸锶的虫友,可能的原因是什么?
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yousyunnsei

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【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你是生长什么薄膜,是Fe吗?一般外延衬底设定温度为300~500°左右
使人成熟的不是岁月,而是经历。
2楼2017-04-17 06:11:35
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