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钛酸锶STO衬底表面高温变粗糙？ 已有1人参与
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我用抛光后的STO单晶作为衬底外延生长，温度850度，压强10torr，前驱体高温会释放少量氧。但最后什么也没长上去，并且STO表面变得很粗糙，这是什么原因？ 按理说钛酸锶的熔点很高，应该很稳定，卖STO的商家说什么700多度有个相变造成的，可我只查到105 K的相变。不过毕竟没调查清楚不好下结论，所以想问问用过钛酸锶的虫友，可能的原因是什么？ |
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