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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 废弃硅溶胶抛光液如何处理？
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Daniel.Yu

金虫 (正式写手)

[求助] 废弃硅溶胶抛光液如何处理？ 已有2人参与

求助CMP抛光晶片产生的废弃硅溶胶抛光液简单又环保的处理方案……

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好读书，不求甚解！
1楼 2017-04-16 15:44:15
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Daniel.Yu

金虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by shuli520 at 2017-05-25 13:42:52
你们用的硅溶胶粒径是多少的？我是做油田化学品的，需要废弃的硅溶胶

40-120纳米，这也可以回收？

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好读书，不求甚解！
5楼2017-05-26 02:36:21
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z2842223

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
抛光晶片的话应该可以设计循环使用。因为废渣不多。最后废弃的可以用半透膜过滤，或者用化学方法使 其沉淀就可以。
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Daniel.Yu
2楼2017-04-17 12:29:31
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Daniel.Yu

金虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by z2842223 at 2017-04-17 12:29:31
抛光晶片的话应该可以设计循环使用。因为废渣不多。最后废弃的可以用半透膜过滤，或者用化学方法使 其沉淀就可以。

谢谢，化学沉淀需要什么试剂呢？

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好读书，不求甚解！
3楼2017-04-20 02:03:46
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shuli520

禁虫 (初入文坛)
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Daniel.Yu
4楼2017-05-25 13:42:52
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