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Daniel.Yu

金虫 (正式写手)

[求助] 废弃硅溶胶抛光液如何处理? 已有2人参与

求助CMP抛光晶片产生的废弃硅溶胶抛光液简单又环保的处理方案……

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Daniel.Yu

金虫 (正式写手)

送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by shuli520 at 2017-05-25 13:42:52
你们用的硅溶胶粒径是多少的?我是做油田化学品的,需要废弃的硅溶胶

40-120纳米,这也可以回收?

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好读书,不求甚解!
5楼2017-05-26 02:36:21
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z2842223

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
抛光晶片的话应该可以设计循环使用。因为废渣不多。最后废弃的可以用半透膜过滤,或者用化学方法使 其沉淀就可以。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2017-04-17 12:29:31
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Daniel.Yu

金虫 (正式写手)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by z2842223 at 2017-04-17 12:29:31
抛光晶片的话应该可以设计循环使用。因为废渣不多。最后废弃的可以用半透膜过滤,或者用化学方法使 其沉淀就可以。

谢谢,化学沉淀需要什么试剂呢?

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好读书,不求甚解!
3楼2017-04-20 02:03:46
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shuli520

禁虫 (初入文坛)

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4楼2017-05-25 13:42:52
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