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肖马者

铜虫 (初入文坛)

[求助] 关于日立su-8010扫描电镜如何进行背散射(bse)照相? 已有2人参与

二次电子成像会操作,关于日立su-8010扫描电镜如何进行背散射(bse)照相,同时该冷场扫描是否适合做eds
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penghuabei

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
首先,你要有BSE的探测器呀,其次EDS你也要有能谱的探测器呀。你探测器都没有怎么做。如果有了,那就很简单了。BSE跟二次电子一样,你只是换了个模式而已

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2017-04-15 04:18:34
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肖马者

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by penghuabei at 2017-04-15 04:18:34
首先,你要有BSE的探测器呀,其次EDS你也要有能谱的探测器呀。你探测器都没有怎么做。如果有了,那就很简单了。BSE跟二次电子一样,你只是换了个模式而已
...

现在就是不知道把参数调到什么程度才能得到清楚的背散射像
3楼2017-04-16 18:24:20
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ziyidiewu

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

SU8010测BSE图像可以使用LA模式,混合的比例选择100,即LA(100)就是BSE图像。
冷场可以做EDX,但是由于信号量低,所以可以选择面积大一点的EDX探头。
4楼2017-05-10 13:35:02
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ziyidiewu

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

若图像不清晰,可以选择较大Ie,比如15uA
5楼2017-05-10 13:37:47
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