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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 使用su-8光刻胶做模具的基底硅片怎么清洁比较合适呢？谢谢！
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Techuichang

新虫 (初入文坛)

[求助] 使用su-8光刻胶做模具的基底硅片怎么清洁比较合适呢？谢谢！已有1人参与

本能反感3号液...有没有比硅片跟经济的基底选择？刚接触这些，请大虾们赐教~
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1楼2017-04-13 23:35:06
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

几十块钱的免洗的硅片已经很便宜了，比胶便宜。
做过SU8的，我们一般是不洗的，很难洗干净的。
所以，我建议，你直接买现成的免洗片吧，看看研材微纳，联系一下，他们有比普通片更便宜的test wafer，免洗的，你说清楚只做光刻就好了。
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2楼2017-04-17 18:47:10
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山色空明

新虫 (初入文坛)
负胶都是倒梯形的，膜取得下来吗

发自小木虫IOS客户端
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3楼2017-04-24 13:58:09
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匿名

用户注销 (初入文坛)
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4楼2017-10-26 22:17:45
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