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硅片电阻率与掺杂浓度的对照表怎么看
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西北望1992
新虫
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帖子: 205
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虫号: 3487009
注册: 2014-10-20
专业: 半导体材料
[
求助
]
硅片电阻率与掺杂浓度的对照表怎么看
已有1人参与
怎么看
这是硅片电阻率与掺杂浓的的对照表,但是我不知道该怎么查询,左边一栏是电阻率,那右边0.0、0.1、0.2 指的是啥啊?求助这个表到底怎么用,我想知道某一电阻率范围的硅片的大致掺杂浓度,谢谢!
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1楼
2017-04-07 14:47:48
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jngrh5062
禁虫
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2楼
2017-04-14 21:15:41
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ljy256
银虫
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在线: 93.1小时
虫号: 449114
注册: 2007-11-02
性别:
MM
专业: 电化学
【答案】应助回帖
例如掺杂剂浓度为1.1E12 cm-3时,电阻率3.9E0.3,我以前根据目标电阻计算过掺杂量,与实际相差太大,所以后来就直接用配料表了
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3楼
2019-11-21 19:29:00
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