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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻掩膜版做成正胶还是反胶的
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kafeitu

新虫 (小有名气)

[求助] 光刻掩膜版做成正胶还是反胶的 已有1人参与

正胶分辨率高一点，但实验室光刻胶为反胶，貌似也能做正胶用，不知道掩膜版做成哪种的，还是正反各一半较好

@yswyx @神魔流转 发自小木虫Android客户端
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1楼 2017-04-01 15:33:30
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CruiserD

至尊木虫 (著名写手)
以前做的检测芯片，整版被光刻胶覆盖，只有曝光的地方出来窗口，做沉积和检测~
因此推荐，正胶~~
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卢瑟·西门罗夫同志
2楼2017-04-01 15:50:55
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zangshoub

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

掩膜版买回来就是带胶的，所以可以明确是正胶
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MEMS相关技术咨询，代加工，划片，减薄，光刻版设计可以联系我：13961814622
3楼2017-06-28 10:20:46
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