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]直流磁控溅射二氧化钛能起辉,但不能沉积
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专业: 半导体晶体与薄膜材料
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]
]直流磁控溅射二氧化钛能起辉,但不能沉积
在纯氩气中可以很好的沉积,稍微增加一点氧气就只能起辉,但沉积不了
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烦躁
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1楼
2017-03-30 09:25:12
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