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superman111

铜虫 (小有名气)

[交流] 化学气相沉积原理

请问各位大神可以指点一下气相沉积法原理吗?有没有相关文献和书籍推荐的?
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[ Last edited by 冰点降温 on 2017-3-30 at 09:25 ]
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jiagle

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superman111(冰点降温代发): 金币+3 2017-03-30 09:28:37
superman111(冰点降温代发): 金币+7 2017-05-26 16:17:56
此类文献多如牛毛,自己去查吧。
最基本原理无非是半原料气或是气化的原料引导到要沉积的基底上,然后在基底上热分解或是通过其它化学反应生成所要的组成,并沉积到基底上;多用于形成功能膜,也可以用于生长其它形貌的固体。
2楼2017-03-30 08:11:30
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