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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 无机/物化 » 无机化学 » 化学气相沉积原理
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superman111

铜虫 (小有名气)

[交流] 化学气相沉积原理

请问各位大神可以指点一下气相沉积法原理吗？有没有相关文献和书籍推荐的？
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[ Last edited by 冰点降温 on 2017-3-30 at 09:25 ]
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1楼 2017-03-29 23:43:27
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jiagle

专家顾问 (知名作家)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
superman111(冰点降温代发): 金币+3 2017-03-30 09:28:37
superman111(冰点降温代发): 金币+7 2017-05-26 16:17:56
此类文献多如牛毛，自己去查吧。
最基本原理无非是半原料气或是气化的原料引导到要沉积的基底上，然后在基底上热分解或是通过其它化学反应生成所要的组成，并沉积到基底上；多用于形成功能膜，也可以用于生长其它形貌的固体。
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2楼2017-03-30 08:11:30
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