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[求助]
磁控溅射氧化铝薄膜，往哪种材料上长薄膜比较好呢？
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| 我使用的是北京中方盖德的设备。普通玻璃，石英玻璃和单晶硅，往哪种材料上长薄膜更助于长成高质量的薄膜呢？最近刚开始研究氧化铝薄膜的制备，请有经验的同学觉得那些地方需要注意，给一些建议和指导。 |
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