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金虫 (小有名气)

[求助] 负性光刻胶如何提高侧壁垂直度? 已有1人参与

150um左右的负性感光油墨,如何尽量减少它的侧蚀?
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纳米材料753

木虫之王 (文学泰斗)

光岳之巅

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
把光刻板与样品之间夹紧  同时减少曝光光源的侧入射
进取……永无止境!
2楼2017-03-25 19:12:41
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