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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 工艺设计 » 负性光刻胶如何提高侧壁垂直度？
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DOUBLEKILLMO

金虫 (小有名气)

[求助] 负性光刻胶如何提高侧壁垂直度？ 已有1人参与

150um左右的负性感光油墨，如何尽量减少它的侧蚀？
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1楼 2017-03-25 17:55:31
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纳米材料753

木虫之王 (文学泰斗)

光岳之巅

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
把光刻板与样品之间夹紧  同时减少曝光光源的侧入射
赞一下 回复此楼
进取……永无止境！
2楼2017-03-25 19:12:41
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