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繁星swpu

木虫 (正式写手)

[求助] XRD在25°左右出现了一个未知的峰 已有1人参与

材料:在Si基材上制备了600nm的CrN薄膜(Cr100nm打底)
测试商:沈阳东北金属材料研究院有限公司
XRD:日本理学 smart lab
测试参数:低掠角(0.3°和1°),2 theta(20-90°),step 0.01
测试人员说试样放在玻璃片上,但是测出来在25°左右出现了一个未知的峰,和我薄膜的物质不相关,不知道这可能是什么原因。
图中在0.3°和1°低掠角条件下,25°那个峰不一致,但是CrN的峰重合很好,所以怀疑是测试问题。

XRD在25°左右出现了一个未知的峰
XRD测试参数.jpg


XRD在25°左右出现了一个未知的峰-1
XRD.jpg


XRD在25°左右出现了一个未知的峰-2
碳峰.jpg
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纳米材料753

木虫之王 (文学泰斗)

光岳之巅

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
纳米薄膜很容易被氧化 是不是被氧化后的峰
进取……永无止境!
2楼2017-03-20 22:13:54
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wangle_17

金虫 (正式写手)

3楼2017-03-21 08:58:37
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繁星swpu

木虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by wangle_17 at 2017-03-21 08:58:37
那是单晶硅(101)的峰

单晶硅(101)在40.126°, JCPDS #88-2284,和我的未知峰差太多。
4楼2017-03-21 13:22:28
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sirius1845

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 繁星swpu at 2017-03-21 13:22:28
单晶硅(101)在40.126°, JCPDS #88-2284,和我的未知峰差太多。...

请教一下,一般Si衬底不是Fd-3m么,你选的Imma是什么

发自小木虫Android客户端
5楼2017-05-18 15:06:15
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leaves922

木虫 (正式写手)

衬底倾斜晶面的峰,可以空扫等条件验证

发自小木虫IOS客户端
6楼2017-07-13 16:17:43
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