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湿法刻蚀玻璃，肖特33的玻璃，刻湿有没有深宽比要求，一般刻湿深宽比多大。精度高么
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本人想做微流控芯片，玻璃的，最小线宽10um流道深度30um ，什么工艺可以制备？ 发自小木虫IOS客户端 |
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2楼2017-03-19 15:47:49
kismeter
木虫 (小有名气)
- 应助: 5 (幼儿园)
- 金币: 3238.6
- 散金: 174
- 帖子: 74
- 在线: 288小时
- 虫号: 584474
- 注册: 2008-08-01
- 性别: GG
- 专业: 聚合物共混与复合材料
3楼2017-03-24 20:35:16
4楼2017-03-31 07:28:45
40