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北京大学 微机电系统(MEMS)讲义-为纳机电系统NEMS打基础
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北京大学的微机电系统MEMS讲义,关注纳米基础研究的同时,了解一下微加工工艺,加工工艺都是相通的,拓展你的研究领域岂不更好(有时间再整理下纳机电系统NEMS材料)。搞器件、应用的去做基础理论研究难,但你有理论基础适当了解一下应用就要容易一些,将你的研究成果加以应用,多一点idea,申请项目就多一条路![]() Introduction to MEMS MEMS Process Integration Design MEMS System Design MEMS Physics Design Device Cases study CAD Tools Training 下载---》重新上传于20090219 微系统讲义北京大学.rar [ Last edited by memser on 2009-2-19 at 15:37 ] |
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