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kingskyfull金虫 (小有名气)
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[求助]
PECVD衬底求助
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| 各位大神好,急用pecvd(电容耦合式)镀6英寸的硅片,但是pecvd的片架放不下,有没有哪位有方法使衬底可以固定,主要是做的东西要的很急,而且尺寸固定了,求助各位,谢谢了 |
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