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m452193160新虫 (小有名气)
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[求助]
射频磁控溅射没法沉积的问题
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型号 北仪jpgf-400 射频电源自己配的，应该叫先进能源的？13.56 自从楼主某次很傻的把靶套脱下来进行射频溅射后，每次射频都是能起辉，溅射不出东西。曾经把整个靶脱下来全部清洗（因为之前发现脱了靶套整个靶都脏了溅射出来的东西里明显能看到铜套的颜色），但还是不行，感觉什么东西都镀不出来。。。可以排除电源和气等其他问题因为有两个靶头，另一个靶是能用的，而且能够溅射出来东西。特在此求助，所有什么漏掉的参数求大神指点我会一一列出 发自小木虫Android客户端 |
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