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求助消除石墨坩埚表面粘硅的方法以及什么地方可以做坩埚表面处理
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大家好，我们在做硅片提拉的时候，石墨坩埚内会粘上一层厚厚的硅晶体～～，求助各位需要对坩埚做什么样的涂层处理并且什么地方可以做这样的处理？ 发自小木虫Android客户端 |
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4楼2017-11-24 22:13:30
皮特上尉
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2楼2017-03-16 20:37:34
科大小鱼儿
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3楼2017-03-18 14:58:32