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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 氧化铝的刻蚀
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雨忆缘

新虫 (初入文坛)

[求助] 氧化铝的刻蚀 已有2人参与

最近在金刚石上用氧化铝做图形，需要湿法刻蚀出需要的图形，用电子束蒸发氧化铝，光刻之后，用盐酸刻蚀，可是怎么都刻蚀不了，氧化铝根本不反应，是，求大神帮帮忙，要怎么办，才能刻蚀氧化铝制作出需要的图形。谢谢！

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1楼 2017-03-16 11:14:19
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zirenfly

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

用硝酸试试吧，AlCl3(aq) + 3 H2O → AlO2-+ 3HCl + H3O+[3]
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鲜衣怒马少年时,且歌且行且从容。
2楼2017-05-10 10:44:18
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陈小壳

新虫 (初入文坛)
求问楼主 用的是哪款膜厚仪 我想添加氧化铝  说明书最后没有氧化铝的密度和声阻抗参数。
百度氧化铝的声阻抗参数也百度不到，求告知你用的电子束蒸发系统里的氧化铝的密度和声阻抗参数，多谢多谢！！
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3楼2017-11-13 11:05:12
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匿名

用户注销 (小有名气)
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4楼2018-09-10 19:28:31
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