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氧化铝的刻蚀 已有2人参与
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最近在金刚石上用氧化铝做图形,需要湿法刻蚀出需要的图形,用电子束蒸发氧化铝,光刻之后,用盐酸刻蚀,可是怎么都刻蚀不了,氧化铝根本不反应,是,求大神帮帮忙,要怎么办,才能刻蚀氧化铝制作出需要的图形。谢谢! 发自小木虫IOS客户端 |
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zirenfly
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