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雨忆缘

新虫 (初入文坛)

[求助] 氧化铝的刻蚀 已有2人参与

最近在金刚石上用氧化铝做图形,需要湿法刻蚀出需要的图形,用电子束蒸发氧化铝,光刻之后,用盐酸刻蚀,可是怎么都刻蚀不了,氧化铝根本不反应,是,求大神帮帮忙,要怎么办,才能刻蚀氧化铝制作出需要的图形。谢谢!

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zirenfly

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

用硝酸试试吧,AlCl3(aq) + 3 H2O → AlO2-+ 3HCl + H3O+[3]
鲜衣怒马少年时,且歌且行且从容。
2楼2017-05-10 10:44:18
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陈小壳

新虫 (初入文坛)

求问楼主 用的是哪款膜厚仪 我想添加氧化铝  说明书最后没有氧化铝的密度和声阻抗参数。
百度氧化铝的声阻抗参数也百度不到,求告知你用的电子束蒸发系统里的氧化铝的密度和声阻抗参数,多谢多谢!!
3楼2017-11-13 11:05:12
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匿名

用户注销 (小有名气)

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4楼2018-09-10 19:28:31
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