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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 5-10微米光刻问题
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wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)

[求助] 5-10微米光刻问题 已有1人参与

新人第一次做5-10微米的器件，后续还要做溅射lift-off。想问下论坛里的大牛，这种情况一般要甩多厚的胶合适一些？掩膜版上5微米10微米的器件都有。

@yswyx 发自小木虫IOS客户端
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1楼 2017-03-13 19:59:22
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wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)
求助

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2楼2017-03-14 10:25:53
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匿名

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3楼2017-04-12 22:05:58
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zangshoub

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
wataru_kazaf: 金币+1, ★有帮助 2017-06-30 23:04:30
主要看厚度，lift off 剥离最好涂两次胶比较好
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MEMS相关技术咨询，代加工，划片，减薄，光刻版设计可以联系我：13961814622
4楼2017-06-28 10:22:18
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wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by zangshoub at 2017-06-28 10:22:18
主要看厚度，lift off 剥离最好涂两次胶比较好

两次涂胶是如何操作的呢？

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5楼2017-06-30 23:04:09
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匿名

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6楼2020-01-30 12:13:41
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