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wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)

[求助] 5-10微米光刻问题 已有1人参与

新人第一次做5-10微米的器件,后续还要做溅射lift-off。想问下论坛里的大牛,这种情况一般要甩多厚的胶合适一些?掩膜版上5微米10微米的器件都有。

@yswyx 发自小木虫IOS客户端
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wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)

2楼2017-03-14 10:25:53
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匿名

用户注销 (职业作家)

本帖仅楼主可见
3楼2017-04-12 22:05:58
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zangshoub

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


wataru_kazaf: 金币+1, 有帮助 2017-06-30 23:04:30
主要看厚度,lift off 剥离最好涂两次胶比较好
MEMS相关技术咨询,代加工,划片,减薄,光刻版设计可以联系我:13961814622
4楼2017-06-28 10:22:18
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wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by zangshoub at 2017-06-28 10:22:18
主要看厚度,lift off 剥离最好涂两次胶比较好

两次涂胶是如何操作的呢?

发自小木虫IOS客户端
5楼2017-06-30 23:04:09
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匿名

用户注销 (初入文坛)

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6楼2020-01-30 12:13:41
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