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1楼 2017-03-09 18:35:26

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peterflyer

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【答案】应助回帖

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这个要看氮化硅薄膜的热胀系数和镀膜玻璃的热胀系数之间的差异了。

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xiaoale66

2楼2017-03-12 12:27:23

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xiaoale66

禁虫 (初入文坛)

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3楼2017-03-13 09:10:03

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引用回帖:

3楼: Originally posted by xiaoale66 at 2017-03-13 09:10:03
我想写一篇关于LPCVD制备氮化硅的论文，有关于应力比较这一块不知道怎么描述，我是采用1X1的裸硅片生长的，您能否再仔细描述一下这个问题呢，麻烦您了！...

这方面我也只是知道一个皮毛，更多的也帮不了你什么。可以简单计算如下：
比如氮化硅和玻璃的热胀系数分别为α1、α2，溅射温度T1，室温T0,则冷却到室温后，两者单位长度1的伸缩量的差为（α1-α2）*（T1-T0）*1，
若不考虑两种材料在界面上的相互协调，则应变值为ε=（α1-α2）*（T1-T0）*1/1=（α1-α2）*（T1-T0）
若设薄膜材料的杨氏模量为E，则σ=E*ε=E*（α1-α2）*（T1-T0）
实际上的应力由于两种材料在交界面处的相互间的协调，其应力应该比上面的计算值小一些。

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4楼2017-03-13 10:23:51

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