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道隐小成

新虫 (初入文坛)

[交流] 请问大家从铜基底转移石墨烯的方法都是什么? 已有5人参与

目前我正在用传统湿法转移石墨烯到COC ,但是重复不下数十次都是失败,各种假设都验证了。想问下大家做转移的方法都是什么?
列出我的方法,希望大神能指导我,让我知道自己哪里不错了,一直失败。
1.铜基底上的单层石墨烯,用砂纸稍微打磨背面,有助于加快铜的刻蚀
2.正面旋涂(或者直接滴涂)pmma溶液,晾干七八个小时左右
3.将晾干后的样本正面做标记,确保不会搞混涂了pmma的面
4.做了标记以后放到刻蚀液里,大概七八个小时能将铜彻底刻蚀完
5.刻蚀完以后将样本放到培养皿,往里面滴入DI water不断稀释,重复几次,确保刻蚀杂质大致清除
6.coc 材料先用plasma 处理一分钟,再用丙酮超声波清洗两分钟,再用异丙酮(IPA)冲洗
7.用处理过的coc表面贴合石墨烯样本,放到培养皿里干燥12个小时
8.往培养皿倒醋酸去除pmma,大约24小时以后pmma可被去除。至此转移结束。

问题:目前发现,铜刻蚀完以后的样本上pmma 很完整,石墨烯不完整(甚至没有石墨烯),所以醋酸会溶解掉整个样本,最后coc 上没有任何东西。请问要怎样在刻蚀中保证石墨烯的完整性?

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zctf

铁虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
第六步不要超声,另外用醋酸溶解PMMA我也试过,跟用丙酮没啥区别
劣质反应釜。。。
2楼2017-03-10 09:42:54
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zdj419438797

铜虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by zctf at 2017-03-10 09:42:54
第六步不要超声,另外用醋酸溶解PMMA我也试过,跟用丙酮没啥区别

浸泡时 PMMA/G 容易飘起来 怎么回事呢
3楼2017-03-23 08:30:03
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18051208096

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
1、第一步先砂纸打磨,这个我没尝试过,感觉难度很大;
2、我一般先旋涂PMMA,再等离子去除铜背面石墨烯;
3、旋涂PMMA的一面还是很明显的;
4、至于你说的PMMA/G 飘起来,应该是和基底贴合不牢
初衷勿忘
4楼2017-05-17 18:50:52
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道隐小成

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 18051208096 at 2017-05-17 18:50:52
1、第一步先砂纸打磨,这个我没尝试过,感觉难度很大;
2、我一般先旋涂PMMA,再等离子去除铜背面石墨烯;
3、旋涂PMMA的一面还是很明显的;
4、至于你说的PMMA/G 飘起来,应该是和基底贴合不牢

请问旋涂pmma以后不用等离子处理背后可以吗?

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5楼2017-05-19 17:44:25
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想的太美好

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
石墨烯和基底粘合的牢不牢固呢

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6楼2019-10-02 16:08:06
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点点滴滴、d

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
第一步用等离子体打一下会好一些。用砂纸打磨,感觉难度很大。

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7楼2021-05-09 10:46:15
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点点滴滴、d

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
感觉好像是pmma的问题,因为我这边2个小时就可以晾干了你这7、8个小时,感觉是太稠了。你有试过稀释pmma吗?或者你的pmma滴在样本上的流动性怎么样?

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8楼2021-05-09 11:01:15
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