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【分享】The physics of micro/nano technology 讲义，详见介绍！
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看题目内容大概也知道一些。我自己该讲义分为三个部分，如果只从事微纳米基础研究的，可以着重看CH3，这部分主要介绍了微纳米结构的光学、电学和力学特性，当然这里面也提到了一些经典的应用；进一步，再想做微纳器件，可以了解微机电系统，微纳加工，这部分见CH2；如果对薄膜感兴趣话可以看看CH1。 喜欢的记得打赏一下哦，圣诞节要到了，让俺有银子暖和一下吧：）祝圣诞节快乐！ The physics of micro/nano technology Contents ： CH1 Particle source and their interaction with matters Principle of Thin Layer Formation Thin film deposition method Formation,structure and analysis of thin film CH2 Principle of Lithography Silicon Wet etching Principle of dry etch CH3 Mechanical Properties of Micro/nano Structure Optical properties of micro/nanostructures Electrical property of micro/nano structure 第一次弄纳米盘，呵呵，希望可以。 CH3－》Download Property of micronano structure.rar CH2－》Download－－已经重新上传！20090219 CH2.rar CH1－》Download－－已经重新上传！20090219 CH1.rar [ Last edited by memser on 2009-2-19 at 15:24 ] |
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