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lylhfe

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】请问用什么方法可以测薄膜电极的厚度

我做的金属氧化物薄膜电极,用的电沉积方法做的,想测一下薄膜层的厚度,不知道用什么方法。请大家指点一下,谢谢了。不胜感激。

[ Last edited by 张甜 on 2008-12-23 at 16:25 ]
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lwjonly

金虫 (正式写手)

液氮脆断后SEM看断口可以测量,或者用台阶仪也可以测量。
2楼2008-12-23 17:40:45
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lylhfe

铁杆木虫 (正式写手)

台阶仪是什么仪器?需要怎么预处理电极?谢谢
希望和大家交流任何问题
3楼2008-12-23 18:15:24
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buickay0

铁虫 (初入文坛)

Profilometer,
calote test
体积法
4楼2008-12-23 18:21:12
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TJ30

铜虫 (小有名气)

F20 薄膜测试仪 很快很简单  是用光干涉测量的
5楼2008-12-24 14:59:00
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lylhfe

铁杆木虫 (正式写手)

我听说用涡流测厚仪可以测,精确度怎么样?
希望和大家交流任何问题
6楼2008-12-25 12:15:23
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