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求助：氮化硅蚀刻
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| 求助：ITO玻璃，玻璃+ITO+氮化硅/二氧化硅,不良品返工，要对氮化硅/二氧化硅层以及ITO层进行去除、清洗处理。差了很多资料，氢氟酸，热磷酸，王水等，完全没反应。不懂怎么回事，求助各位大侠 |
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2楼2017-03-04 13:30:44