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scalpel1985

新虫 (初入文坛)

[交流] 金属Ag的腐蚀如何实现，使用光刻胶作为掩膜

大家好，我现在的器件，是聚酰亚胺薄膜上面，有6000Å 金属Ag的膜层，也有的样品接近1μm的Ag。现在我想在Ag膜上面腐蚀出宽度75~100μm的走道（将走道内的Ag全部腐蚀掉）。但是工艺限制，我必须使用光刻胶作为掩膜，不知各位是否有相关经验？有什么手段可以将走道腐蚀出来而侧蚀尽可能小？
请大家不吝赐教！

金属Ag的腐蚀如何实现，使用光刻胶作为掩膜
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凡事要往好处想
1楼 2017-03-03 08:53:38
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