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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 【求助】湿法刻蚀硅纳米线的TEM制样问题
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化君

木虫 (正式写手)
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【求助】湿法刻蚀硅纳米线的TEM制样问题
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本人采用湿法刻蚀，制备出的硅纳米线要做TEM，各位提供一点经验吗？
比如硅纳米线用刀刮下来再超声分散，还是把刻蚀好的硅片放到乙醇里超声分散，
还有要不要再稀释溶液了？
第一次做，问题有点多，谢谢各位了。

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1楼 2017-03-02 17:40:11
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叫我小川兄吧

木虫 (正式写手)
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用洗干净的刀刮一下硅纳米线，放到离心管里，超声一下，乙醇要少，可以提前用移液枪吸点滴在硅片上，显微镜提前看看，然后根据纳米线稀疏情况调整乙醇的量和要不要把基底直接放进去超声。弄清楚了后再滴碳网，溶液备着

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化君
16楼2017-03-02 18:07:09
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化君

木虫 (正式写手)
各位有明白的还请多指教啊。。

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11楼2017-03-02 17:41:10
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匿名

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12楼2017-03-02 17:48:59
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化君

木虫 (正式写手)
引用回帖:
12楼: Originally posted by ablian at 2017-03-02 17:48:59
什么规格？

p型硅100，重掺杂，电阻率小于0.05。
这个和测试有关系吗？

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13楼2017-03-02 18:00:14
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匿名

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14楼2017-03-02 18:01:48
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匿名

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15楼2017-03-02 18:03:19
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匿名

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17楼2017-03-02 18:18:20
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玉壁月华明

铜虫 (小有名气)
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13楼: Originally posted by 化君 at 2017-03-02 18:00:14
p型硅100，重掺杂，电阻率小于0.05。
这个和测试有关系吗？
...

硅片是单抛还是双抛的？
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18楼2017-03-03 19:01:46
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化君

木虫 (正式写手)
引用回帖:
18楼: Originally posted by 玉壁月华明 at 2017-03-03 19:01:46
硅片是单抛还是双抛的？...

单抛的

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19楼2017-03-15 16:59:56
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化君

木虫 (正式写手)
引用回帖:
17楼: Originally posted by ablian at 2017-03-02 18:18:20
不知你的生长效果怎样？一致性比较好得话，建议刀刻；乙醇浸泡整个模板，对单个纳米线损害较少。
需不需要稀释看你成像效果的。...

不是很好，主要是不均匀，有的地方感觉完全没刻上

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ablian
20楼2017-03-15 17:01:10
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化君

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引用回帖:
16楼: Originally posted by 叫我小川兄吧 at 2017-03-02 18:07:09
用洗干净的刀刮一下硅纳米线，放到离心管里，超声一下，乙醇要少，可以提前用移液枪吸点滴在硅片上，显微镜提前看看，然后根据纳米线稀疏情况调整乙醇的量和要不要把基底直接放进去超声。弄清楚了后再滴碳网，溶液备 ...

谢谢，尝试一下

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21楼2017-03-15 17:03:02
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匿名

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22楼2017-04-18 09:23:11
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6seven61182楼
2017-03-02 17:40   回复  
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woxinggde3楼
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柳灵风听雨4楼
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xiao9511215楼
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小白逆袭之路6楼
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linzihao6647楼
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那天娇8楼
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withdraw9楼
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siwaxingge12210楼
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