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[求助] 求助

请问哪位大神，有没有哪种测量仪器能够测量如下图一层不到1微米厚度的薄膜，上直径5微米凹槽的深度？

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1楼 2017-03-02 17:03:16

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小权whq

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椭圆偏振光谱仪

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2楼2017-03-02 22:56:17

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下载电子书

至尊木虫 (文坛精英)

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高度规

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YesICan

3楼2017-03-02 23:20:52

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新虫 (初入文坛)

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3楼: Originally posted by 下载电子书 at 2017-03-02 23:20:52
高度规

高度规能测微米一下的尺寸吗？

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4楼2017-03-02 23:34:22

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Mr.不太靠谱

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直接用台阶仪太容易了

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5楼2017-03-03 00:00:22

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dezhuli

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台阶仪估计不行，图形太小了，这个轮廓仪可以测量

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6楼2017-03-07 07:21:46

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