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能用FTIR测量二氧化硅层下面的体硅中的间隙氧含量吗？
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| 用FTIR可以测量硅片中间隙氧的含量，那么加入硅片表面有~纳米的二氧化硅层还能用FTIR测量间隙氧含量吗？ 若能测出，测出来的结果会受那些因素干扰呢？ |
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