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kylinsu

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[求助] 能用FTIR测量二氧化硅层下面的体硅中的间隙氧含量吗？

用FTIR可以测量硅片中间隙氧的含量，那么加入硅片表面有~纳米的二氧化硅层还能用FTIR测量间隙氧含量吗？   若能测出，测出来的结果会受那些因素干扰呢？
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在黑暗的无知之海上，吾乃闪耀的知识灯塔。
1楼 2017-03-01 09:13:41
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