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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 【求助】湿法刻蚀的硅纳米线怎样用扫描电镜观察侧面？
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化君

木虫 (正式写手)

[求助] 【求助】湿法刻蚀的硅纳米线怎样用扫描电镜观察侧面？

请教各位一点问题，希望前辈们能给予帮助。
湿法刻蚀硅制取硅纳米线，做SEM时硅纳米线的侧面怎样能看到像文献中的那样（图1）？
本人是用镊子将刻蚀完毕的硅片按碎，选取合适碎片平放/立放在导电胶上，然后做SEM。可以看到硅片表面有刻蚀形成的硅纳米线（图2），但是侧面观察不到纳米线（图3、4）。是我制备的纳米线太短了以致观察不到，还是我制样的方法不对破坏了纵截面的硅线，还是我放置的位置不对？
麻烦知情的前辈们解答一下，非常感谢！

【求助】湿法刻蚀的硅纳米线怎样用扫描电镜观察侧面？
图1.PNG@xiejf@yswyx@dut_ameng
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1楼 2017-02-28 19:41:48
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化君

木虫 (正式写手)
【求助】湿法刻蚀的硅纳米线怎样用扫描电镜观察侧面？-1

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2楼2017-02-28 19:52:20
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化君

木虫 (正式写手)
以上分别是能看到的正面和侧面，只是在侧面上观察不到纳米线
【求助】湿法刻蚀的硅纳米线怎样用扫描电镜观察侧面？-2


【求助】湿法刻蚀的硅纳米线怎样用扫描电镜观察侧面？-3



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3楼2017-02-28 19:54:50
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