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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【请教】腐蚀氮化硅。。。
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stardom427

木虫 (著名写手)

[交流] 【请教】腐蚀氮化硅。。。

【请教】腐蚀氮化硅。。。
除了HF酸外，，，还有什么物质可以腐蚀氮化硅？
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1楼 2008-12-19 16:15:58
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stardom427

木虫 (著名写手)
这里我详细的说说。。。。
我的想法是，，，想选择性腐蚀硅电池表面的氮化硅膜，因为我选择性腐蚀完后，要进行电镀银电极。。。。、
现在有几种化学方法：HF（效果不好），，磷酸（需要加热160度以上，，，麻烦，且效果不好），，，碱熔融法就算了，这个方法根本不好实施，，，那种温度氮化硅估计已经分解了。。。
物理方法有激光法开槽法，机械刻槽法，，这个成本太高，，，且开完还需要进行损伤层处理。。。
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9楼2009-04-15 08:50:25
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Xintongli

★
stardom427(金币+1,VIP+0):反应的，但是效果不理想 4-11 17:55
HF可以和氮化硅反应吗？.....
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2楼2009-04-11 16:54:34
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离别羽

木虫 (小有名气)
★ ★
stardom427(金币+2,VIP+0):这个应该是碱熔融法吧？需要高温的。。 4-11 17:55
我们化验室是用氢氧化钠测定氮化硅中的氮的，应该可以说就是用氢氧化钠腐蚀氮化硅的
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3楼2009-04-11 17:01:17
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Xintongli

★
闪闪红心(金币+1,VIP+0):鼓励新虫，望多多参与交流！ 4-13 18:31
嗯， Si3N4+16HF=4NH4F+3SiF4↑
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4楼2009-04-13 01:23:51
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