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再见理想35

木虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射镀铝附着力不行

采用磁控溅射的方式,在真空条件下进行溅射镀铝。镀之前进行离子轰击,发现铝膜附着力差,容易脱落。怎样改善工艺才能增强附着力?
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perry_ping

新虫 (著名写手)


2楼2017-02-23 11:14:11
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

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再见理想35: 金币+30, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2017-02-24 12:09:24
个人认为可以从以下几个方面着手:加强基片的清洗、提高基片的溅射温度、降低薄膜沉降的速度。
3楼2017-02-23 13:48:17
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