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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 综合其它 » 【请教】如何控制炉子的真空度，如何通空气呢？
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kongfy

铜虫 (小有名气)

[交流] 【请教】如何控制炉子的真空度，如何通空气呢？

请教：如何控制炉子的真空度，如何给炉子通空气呢？因为机械泵长时间抽空气很容易坏掉。这个该怎么解决呢？请各位帮帮忙，谢谢！
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1楼 2008-12-19 09:32:21
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kongfy

铜虫 (小有名气)
通空气是为了进入一点氧气，防止反应产生的CO还原样品。大概几十pa，应该怎么控制呢？
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3楼2008-12-19 11:06:02
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xiongbijun

金虫 (小有名气)
一定要空气吗？改用氮气吧，要多高的真空度呢
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人之所以痛苦，是因为在追求错误的东西
2楼2008-12-19 10:30:17
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阿梨子

木虫 (正式写手)
★ ★
张甜(金币+2,VIP+0):材料欢迎你
引用回帖:
Originally posted by kongfy at 2008-12-19 09:32:
请教：如何控制炉子的真空度，如何给炉子通空气呢？因为机械泵长时间抽空气很容易坏掉。这个该怎么解决呢？请各位帮帮忙，谢谢！

你查看一下磁控溅射的通气系统,就是边通气边抽气
,通过控制进气和出气量来控制真空度
赞一下(10人) 回复此楼
4楼2008-12-19 12:46:57
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xiongbijun

金虫 (小有名气)
★ ★
张甜(金币+2,VIP+0):欢迎常来~~
LZ应该就是边抽气边进空气的了，只是认为机械泵的寿命会有影响吧？20Pa的真空度很低了，可以用便宜的小功率的真空泵抽抽就行了，搞个真空计，搞个小阀门控制真空度就行了，还要看炉子的温度多高， 做什么处理的？
赞一下(10人) 回复此楼
人之所以痛苦，是因为在追求错误的东西
5楼2008-12-19 14:21:50
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