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kongfy

铜虫 (小有名气)

[交流] 【请教】如何控制炉子的真空度,如何通空气呢?

请教:如何控制炉子的真空度,如何给炉子通空气呢?因为机械泵长时间抽空气很容易坏掉。这个该怎么解决呢?请各位帮帮忙,谢谢!
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kongfy

铜虫 (小有名气)

通空气是为了进入一点氧气,防止反应产生的CO还原样品。大概几十pa,应该怎么控制呢?
3楼2008-12-19 11:06:02
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xiongbijun

金虫 (小有名气)

一定要空气吗?改用氮气吧,要多高的真空度呢
人之所以痛苦,是因为在追求错误的东西
2楼2008-12-19 10:30:17
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阿梨子

木虫 (正式写手)

★ ★
张甜(金币+2,VIP+0):材料欢迎你
引用回帖:
Originally posted by kongfy at 2008-12-19 09:32:
请教:如何控制炉子的真空度,如何给炉子通空气呢?因为机械泵长时间抽空气很容易坏掉。这个该怎么解决呢?请各位帮帮忙,谢谢!

你查看一下磁控溅射的通气系统,就是边通气边抽气
,通过控制进气和出气量来控制真空度
4楼2008-12-19 12:46:57
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xiongbijun

金虫 (小有名气)

★ ★
张甜(金币+2,VIP+0):欢迎常来~~
LZ应该就是边抽气边进空气的了,只是认为机械泵的寿命会有影响吧?20Pa的真空度很低了,可以用便宜的小功率的真空泵抽抽就行了,搞个真空计,搞个小阀门控制真空度就行了,还要看炉子的温度多高, 做什么处理的?
人之所以痛苦,是因为在追求错误的东西
5楼2008-12-19 14:21:50
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