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danshi001

铁虫 (小有名气)

[求助] 真空镀膜

首先祝大家节日快乐! 再请问一个问题,我在用真空镀膜机,镀铝(Al)时,发现铝完全湿润(用了钨舟,钼舟都一样),镀铝时,铝表面有氧化膜,(查到氧化铝的熔点2054°C,而铝的熔点660°C  相差悬殊)
这时是应该快速加热还是应该慢慢加热

大家有用真空镀膜机镀铝的吗???方便告诉一下怎么镀吗??我镀时,加热温度太低,不能熔铝表面的氧化膜,,温度过高,会与钼舟,钨舟合金化???我用的是铝粒,是不是不应该用铝粒?
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薄膜制备与特性

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Zp19841228

金虫 (正式写手)

2楼2017-02-11 10:59:28
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小munut

新虫 (初入文坛)

先空镀,把氧化膜打完后再开始真镀。

发自小木虫IOS客户端
3楼2017-02-12 09:03:02
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tongxiatian

金虫 (小有名气)

佟小天

用钨舟没问题,本底真空高一些,慢慢加电流

发自小木虫IOS客户端
分子束外延、PVD、CVD生长相关领域
4楼2017-02-12 09:54:51
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