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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 国内什么地方可以做顶端是凹坑的硅柱阵列的光刻加工，实在不行微米级的也可以？
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daerchen

木虫 (小有名气)

[求助] 国内什么地方可以做顶端是凹坑的硅柱阵列的光刻加工，实在不行微米级的也可以？已有3人参与

国内什么地方可以做500nm的光刻加工，做成顶端是凹坑的硅柱阵列，实在不行微米级的也可以？
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1楼2017-02-09 15:03:15
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光刻电子

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
2楼2017-02-09 17:07:20
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贪吃的小瓶儿

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
光刻分辨率0.5um还是很好做的，可以找苏州研材微纳委托加工

发自小木虫IOS客户端
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3楼2017-02-10 09:05:19
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光刻电子

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
4楼2017-02-11 11:28:01
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最爱喝牛奶

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
中国科学院苏州纳米所微纳加工平台
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坚持梦想！
5楼2017-02-11 12:30:22
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你说的珠子的高度是多少这里很关键。另外你说的弧顶是圆弧顶是凸起还是凹坑？差别非常大
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6楼2017-02-12 14:23:06
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daerchen

木虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by babyoflion at 2017-02-12 14:23:06
你说的珠子的高度是多少这里很关键。另外你说的弧顶是圆弧顶是凸起还是凹坑？差别非常大

柱子高度跟柱子直径相近，柱子顶部是凹坑？可以做吗？
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7楼2017-04-03 00:05:11
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daerchen

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 贪吃的小瓶儿 at 2017-02-10 09:05:19
光刻分辨率0.5um还是很好做的，可以找苏州研材微纳委托加工

因为一般光刻的柱子顶部是平的，我们需要做成顶部是凹的，可以吗？
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8楼2017-04-03 00:06:32
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daerchen

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 光刻电子 at 2017-02-09 17:07:20
能说的更详细点么，譬如有加工示意图也可以。这样可以参考给你建议。

正常来讲500纳米的光刻这个难度不大，主要看密度，精度，还有材质要求。

我们需要柱子顶部是凹的？这是关键！
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9楼2017-04-03 00:07:33
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