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PMMA 薄膜的电容测试
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| 我想用半导体参数仪测试聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）薄膜的电容，薄膜是直接在纯Si片上旋涂而成的，大约600nm厚，请问电极要怎么做？形成欧姆接触还是肖特基接触？ |
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