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PMMA 薄膜的电容测试
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| 我想用半导体参数仪测试聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)薄膜的电容,薄膜是直接在纯Si片上旋涂而成的,大约600nm厚,请问电极要怎么做?形成欧姆接触还是肖特基接触? |
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