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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求问分辨SOI正反面
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Mouselit

铁虫 (初入文坛)

[求助] 求问分辨SOI正反面

10/1/300的4直径SOI晶圆，因为个人疏忽分不清正反面了。能看到一面缺口的一边有数字，有颜色，没字的一面可以看到内圈有一个轮廓，颜色就是硅的颜色。请问有什么肉眼观察或者技术手段分清正反面吗？
刚来小木虫没多少金币求大佬带

求问分辨SOI正反面


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1楼 2017-02-01 19:01:51
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wangggyy

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
4楼2019-10-11 18:19:55
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科了个研

铁虫 (小有名气)
边缘缺口处应该可以分辨，10um和300um还是挺好分辨的

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2楼2017-02-01 19:24:23
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hunanhyn123

银虫 (小有名气)
我用过挺多SOI，我的经验判断是正面边缘有轮廓，正面也正好是硅的颜色，如果不确定，可以用sem看看断层

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3楼2017-02-02 06:58:40
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