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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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zu360738228

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射时 工作压力是怎么控制的？

请问磁控溅射时  工作压力是怎么控制的？   是通过调节钢瓶气阀来控制？  谢谢
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1楼 2017-01-16 18:21:21
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kangye_1989

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
一般镀膜时压力控制都是用气体充入量来控制的，
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2楼2017-01-20 08:16:25
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