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huzhuang

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 求 外延单晶金刚石层厚度测试方法及可测试地点 已有1人参与

本人在HTHP单晶金刚石基体上,外延生长了一层很薄的单晶金刚石(厚度小于20um),想通过一些方法精确测量出外延单晶金刚石的厚度,急求测试方法及可测试地点!!! 哪位好心人帮帮忙,急求!急求!
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平生不展风云志,空负男儿七尺 躯
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huzhuang

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by kangye_1989 at 2017-01-11 08:05:40
样品可以破坏么,可以的话就用SEM看断面就可以,也可以用TEM,但制样很难。不破坏的话可以 用小角衍射,如果透光的化可以用激光什么的可以测厚度。

样品不能破坏,样品是透光,由于是同质外延生长的单晶,界面处区别不明显,还可以用激光测量厚度吗?能详细说明下吗
平生不展风云志,空负男儿七尺 躯
3楼2017-01-11 10:41:30
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
huzhuang: 金币+10, 有帮助 2017-01-11 10:37:24
样品可以破坏么,可以的话就用SEM看断面就可以,也可以用TEM,但制样很难。不破坏的话可以 用小角衍射,如果透光的化可以用激光什么的可以测厚度。
2楼2017-01-11 08:05:40
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by huzhuang at 2017-01-11 10:41:30
样品不能破坏,样品是透光,由于是同质外延生长的单晶,界面处区别不明显,还可以用激光测量厚度吗?能详细说明下吗...

我也是参观一个激光所,那里的老师说的,同质的话就不清楚了,大概的原理就是激光在薄膜上表面会有反射,在薄膜与衬底的那个面也会反射,两个光是干涉还是衍射就不清楚了,
4楼2017-01-11 11:24:41
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5楼2017-01-11 11:49:18
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